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pg网站麻将胡了HDPCVD反应腔装机量突破70个，量产机台海内遥遥领先

2024-08-22

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自2021年底pg网站麻将胡了推出海内首台HDPCVD到客户端，现在已升级为新型六边形平台，产品性能抵达业界领先水平，坪效比业界第一。依附研发实力和先进的设计理念获得客户赞誉和信任，市场占有率一直攀升。自首台完成验证后，客户一连增添HDPCVD装备采购量，阻止到现在反应腔累计装机量已凌驾70个， 2024年底预计将突破100个。

pg网站麻将胡了的HDPCVD装备Hesper产品接纳六边形平台(TS-300S)，可搭配5个反应腔，实现了高产能、高开机率、易维护和优异的薄膜填充能力。同时具有Wafer剩余吸附力监测系统，稳固的静电吸附力和自动控温模式等功效。Hesper主要用于STI、ILD、IMD及Passivation等种种沟道介质填充。

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