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产品先容
产品特点

产品先容

PF-300M Supra-D 是面向高尺怀抱产打造的新一代 PECVD 高端产品，基于串联式高产能平台，可搭载5个两站自力反应腔。腔体接纳双腔疏散设计，配合专属自力 RPS 系统，清洁效率与工艺稳固性同步提升；腔体小型化设计进一步降低工艺气体消耗及 CoO。加热盘集成 Auto Leveling 自动找平功效，实时赔偿晶圆外貌翘曲，薄膜稳固性、匀称性、颗粒度体现优异。装备可稳固完成氧化硅/氮化硅叠层、OPN、SiB/SiBN、SiN、TEOS、ACHM 等多类高质量介质薄膜沉积，知足先进制程更严酷的工艺指标和量产需求。平台可兼容 pX、PEALD Astra 等差别工艺腔体，支持更多工艺组合和器件类型。

产品特点
      - 双腔疏散设计提升工艺可控性，优异的颗�？刂萍氨∧ぴ瘸菩�
      - 专属自力 RPS 系统，大幅提升Clean效率和产能体现
      - ?腔体小型化进一步降低工艺气体消耗及 CoO
      - 串联式高产能平台，可搭配5个两站自力反应腔，实现产能的优化设置

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